质谱真空泵的使用需要注意多个要点，对操作人员的技术要求也很高。在使用之前，操作人员必须接受相关培训并熟悉泵油及系统的产物。在维护设备时，必须先将设备停止运行，降低温度，并断开泵及其他元件与电路的连接，以避免发生意外事故。
此外，质谱真空泵在运转过程中会受到化学品的污染，因此需要确保泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止有害物质对人员造成伤害。维护完毕后，应检查是否有泄露的地方，如有，应重新密封。同时，不要接触或吸入泵受高温(260℃)产生的热降解产物，因为它们是非常危险的，包括油、油脂和真空脂。
如果需要更换前置真空泵油，操作人员必须按照以下相关技术要求进行操作：
1.开启泵运转10分钟以加热泵油，然后关闭泵(加热后的油可以降低其粘性，更容易倒出)。
2.断开泵与电路及真空系统的连接，取下加油孔的塞子。
3.将泵放在一个适当的支撑物上，以便倾斜泵。在排油口下方放置合适的容器，取下排油口的塞子，让油在重力作用下流入容器中。
4.如果油受到污染，取下加油孔的塞子，倒入干净的油，重新连接泵与电路的连接，开启泵运转5-10分钟。然后断开电路连接，取下塞子，让油流出。重复上述步骤直到将泵清洗干净。
5.塞上排油口的塞子，移开支撑物，重新连接泵与电路及真空系统的连接。
6.加入新油，直到油位接近MAX位置附近。等待几分钟，直到油被抽入泵中。如果需要，可以再次添加油(需再次关闭泵)，塞上加油孔的塞子。
作为质谱真空泵的重要配件，质谱隔音罩在设备运行过程中起着重要作用。该隔音罩具有免敏、消毒表面、易于擦拭的特点，采用环保隔热材料制成，具有防油和防水功能。设计精巧的导风系统可以最大限度地散热，并且能够有效地隔音。
